SE 0.9nm@30kV
1x-3000000x，光学放大1x-100x
Schottky 肖特基场发射电子枪
0.2kV-30kV
五轴自动大样品台，具有防碰撞报警功能
高真空二次电子探测器、红外CCD摄像头、光学导航、半导体四分割背散射探测器（选配）
电子光学镜筒部分： 1000×1000×1730(mm)
电器柜控制部分： 1330×850×740(mm)
1、不同探测器同时成像
显示SE，BSE 双通道图像，可任意设置不同探测器的信号混合比例
BSE探测器，反应样品表面的成分特征
2、大图拼接：可连续自动采图，避免人工操作的繁琐和误差。实现多个图像准确拼接，生成高分辨率的大图。
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |